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地址:北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间
设备主要配置:技术指标
规格型号
PHOENIX Quadro TRIVAC D2.5E
真空模式可检测的氦泄漏率
5x10-12mbar l/s
响应时间
<1 s
入口压力
15 mbar
抽氦速度ULTRA
>3.1 l/s
可检测的气体
4He、H2、质量数3
吸枪的模式可检测的氦泄漏率
1x10-8mbar l/s
吸枪SL300的气流量
20-25 sccm
测量范围
12个数量级
启动时间
110 s
离子源
双灯丝
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