产品详情
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1.材质:304不锈钢;
2.真空度:2x10-5Pa;
3.抽气速率:大气进入10-3Pa≤20分钟;
4.真空腔主体内尺寸:400x400mm,直径x高;
5.真空腔上部有1个活动门,为铰链式侧开,采用氟胶圈型式密封;
6.上盖中心位置有1个Φ100石英玻璃观察窗;
7.真空腔体侧面均布4个接口,其中3个为ISO 160盲板接口,1个为DN150抽气口;
8.腔体抽气口一侧KF16,KF40测真空口各1个,KF25放气口1个;
9.表面处理:电解抛光处理;
10.系统漏率:-10Pa·m³/s。