1、系统功能
Ø 本系统适用对蒸发器、冷凝器进行真空法检漏；
Ø 对被检工件抽真空预充注氦气，将真空箱抽至设定真空度；
Ø 应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格；
Ø 通过氦气回收系统将被检工件内的氦气回收循环使用；
Ø 系统PLC控制，触摸屏操作，检测过程全自动；
Ø 系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。
2、技术参数
Ø 真空箱数量：1个或2个、3个；
Ø 工作节拍：＜100s/件；（现场考察工件待定）
Ø 检测数量：同时检测2个或以上工件
Ø 充氦气压力：0-2MPa（范围内可调）；
Ø 氦气回收率：≥95%；
Ø 可检漏率：≤1.0×10-7Pa m3/S（范围内可调） ；
Ø 真空箱检漏真空≤20Pa（范围内可调）；
Ø 箱门开关方式：自动上下开门；
Ø 设备校准：可自动操作内置漏孔校准。
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