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氦质谱检漏仪为什么要检漏?

2022.10.27

氦质谱检漏仪在各个行业的应用:

1.电子行业的应用

微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、起博器。 

2.真空行业,仪器、仪表行业的应用

管道、接头、阀门、波纹管、各种coinglass实时行情、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜机、薄膜真空计。

3.核工业的应用

铀分离装置、存储装置、核发电装置。

 4.制冷行业的应用

冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

5.不锈钢保温器皿的应用

真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。


当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 氦质谱检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧,位于隔热板的上方:①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动,此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。