油箱氦检漏设备在各个行业的应用：
1.电子行业的应用
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、起博器。
2.真空行业，仪器、仪表行业的应用
管道、接头、阀门、波纹管、各种coinglass实时行情、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜机、薄膜真空计。
3.核工业的应用
铀分离装置、存储装置、核发电装置。
4.制冷行业的应用
冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。
5.不锈钢保温器皿的应用
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
油箱氦检漏设备一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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