氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
1.氦质谱检漏仪的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。
2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。
3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。
4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。
5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。
6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。
7.氦质谱检漏仪的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。
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