为了正确使用真空箱式氦检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。
氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果。
1.较小的检漏率：即真空箱式氦检漏设备能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间：当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，泄漏指示器可以达到大值，泄漏指示器不能立即恢复到零，需要一定时间才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间：真空箱式氦检漏设备开启电源与能检测到泄漏之间的时间。
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