2023.10.07
1.较小的检漏率：即真空箱式氦检漏设备能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间：当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，泄漏指示器可以达到大值，泄漏指示器不能立即恢复到零，需要一定时间才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间：真空箱式氦检漏设备开启电源与能检测到泄漏之间的时间。
真空箱式氦检漏设备是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的检漏仪器。
真空箱式氦检漏设备由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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