真空箱式氦检漏设备是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
使用真空箱式氦检漏设备吸枪的模式检测消防钢瓶是业界较新所采用的广泛的检测方法,将消防钢瓶冲入一定量的氦气,使得钢瓶内外有压力差,如果有泄露,气体就会从钢瓶内部漏出,使用氦质谱检漏仪 吸枪在钢瓶焊接处还有阀门处慢慢游走,吸枪吸到有氦气的话就会产生报警,工件被确认有漏,从而达到测量效果。