真空箱式氦检漏设备一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
真空箱式氦检漏设备适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能强，可重复使用多年，仍保证高精度检漏率。氦质谱检漏仪质量可靠，保证了广泛的市场应用。但是使用氦质谱检漏需要具备一定的条件，如果没达到相应的条件，很可能造成严重后果。
真空箱式氦检漏设备电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用环境要求的地方，特别是氦质谱泄漏检测器的电源插座，应符合要求，地线良好，通风间距约30cm。
放置真空箱式氦检漏设备，以避免倾斜或倾的危险。氦质谱泄漏检测器底部有一个安装孔，可以固定在桌子或支架上。在仪器运行前，确保coinglass实时行情中的机械泵油是否足够，机械泵油必须使用机械泵型号的特殊油。
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