氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
1.氦质谱检漏仪的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。
2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。
3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。
4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。
5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。
6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。
7.氦质谱检漏仪的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。
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