氦检漏仪器一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
1.氦检漏仪器的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。
2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。
3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。
4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。
5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。
6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。
7.氦检漏仪器的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。
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