1.操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单；
2.性能高：半导体氦检漏设备采用了进口检漏仪仪分了泵与高性能的质谱系统，灵敏度度高，检测压强高，响应时间快；
3.功能强大：多种模自动切换，具有权限管理功能；
4.可靠性高：采用抗氧化性的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，系统具有强大的保护功能；
5.多种接口：具有RS232/485，外控IO，遥控器接囗以及外部规管接口等用户接囗。
1.较小的检漏率：即半导体氦检漏设备能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间：当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，泄漏指示器可以达到大值，泄漏指示器不能立即恢复到零，需要一定时间才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间：半导体氦检漏设备开启电源与能检测到泄漏之间的时间。
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