氦质谱检漏仪检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴级电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦质谱检漏仪在各个行业的应用：
1.电子行业的应用
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、起博器。
2.真空行业，仪器、仪表行业的应用
管道、接头、阀门、波纹管、各种coinglass实时行情、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜机、薄膜真空计。
3.核工业的应用
铀分离装置、存储装置、核发电装置。
4.制冷行业的应用
冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。
5.不锈钢保温器皿的应用
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
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