充气柜氦检漏设备是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
充气柜氦检漏设备适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能强，可重复使用多年，仍保证高精度检漏率。氦质谱检漏仪质量可靠，保证了广泛的市场应用。但是使用氦质谱检漏需要具备一定的条件，如果没达到相应的条件，很可能造成严重后果。
充气柜氦检漏设备电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用环境要求的地方，特别是氦质谱泄漏检测器的电源插座，应符合要求，地线良好，通风间距约30cm。
放置充气柜氦检漏设备，以避免倾斜或倾的危险。氦质谱泄漏检测器底部有一个安装孔，可以固定在桌子或支架上。在仪器运行前，确保coinglass实时行情中的机械泵油是否足够，机械泵油必须使用机械泵型号的特殊油。
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