1.较小的检漏率：即氦质谱检漏仪能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间：当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，泄漏指示器可以达到大值，泄漏指示器不能立即恢复到零，需要一定时间才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间：氦质谱检漏仪开启电源与能检测到泄漏之间的时间。
氦质谱检漏仪在各个行业的应用：
1.电子行业的应用
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、起博器。
2.真空行业，仪器、仪表行业的应用
管道、接头、阀门、波纹管、各种coinglass实时行情、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、高能加速器、医用加速器、辐照加速器、镀膜机、薄膜真空计。
3.核工业的应用
铀分离装置、存储装置、核发电装置。
4.制冷行业的应用
冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。
5.不锈钢保温器皿的应用
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
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